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北玻镀水平式汽车前档镀膜线,采用磁控溅射沉积技术,在玻璃表面沉积一系列介质和金属薄膜,主要用于加工汽车前挡镀膜玻璃。


技术参数

基片
汽车前挡玻璃
基片尺寸
Max. 1500×2000mm(可定制)
基片厚度
1.6-6mm
机械节拍
> 15s
极限真空
< 2E-6mbar


设备特点:

1.  溅射室由一系列结构相同的795mm井位单元构成

2.  泵井位采用独特的气体隔离装置

3.  应用新一代以铝型材为支撑结构的可调式磁棒

4.  设计3-5段辅助工艺气体分配系统,每一段可以选择不同类型的气体

5.  采用伺服电机控制,实现传输的高精度控制。

6.   不断缩小进/出口室腔体体积,提高节拍,降低成本

7.  工艺气体分配系统集成在阴极盖板上

8.  每一个阴极单元都配有独立的控制系统

9.   前后室采用整体式盖板设计

10. 镀膜区采用磁悬浮分子泵和干泵